真空泵用的行業(yè)比較多，如醫院里的消毒柜、啤酒行業(yè)、罐裝飲料等地方，該泵利用機械、物理、化學(xué)、物理化學(xué)等方法對容器進(jìn)行抽氣，以獲得和維持真空的裝置。設備廣泛應用于電子、冶金、化工、食品、機械、醫藥、航天等部門(mén)。
設備的日常維護：
1、檢查油的位置。
2、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況，發(fā)現油變質(zhì)應及時(shí)更換新油。
3、換油期限按實(shí)際使用條件和能否滿(mǎn)足性能要求等情況考慮，由用戶(hù)酌情決定。抽除清潔干燥的氣體時(shí)，建議在工作100小時(shí)左右換油一次。
4、一般情況下，工作2000小時(shí)后應進(jìn)行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開(kāi)裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個(gè)真空泵腔內的零件，如轉子、旋片、彈簧等要停止使用時(shí)，先關(guān)閉閘閥、壓力表，然后停止電機。
5、在工作第一個(gè)月內，經(jīng)100小時(shí)更換潤滑油，以后每個(gè)500小時(shí)，換油一次。
6、經(jīng)常調整填料壓蓋，保證填料室內的滴漏情況正常（以成滴漏出為宜）。
7、定期檢查軸套的磨損情況，磨損較大后應及時(shí)更換。
8、在寒冬季節使用時(shí)，停車(chē)后，需將泵體下部放水螺塞擰開(kāi)將介質(zhì)放凈。防止凍裂。
9、長(cháng)期停用，需將泵全部拆開(kāi)，擦干水分，將轉動(dòng)部位及結合處涂以油脂裝好，妥善保管。
由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補充才能滿(mǎn)足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱(chēng)陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì )使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。
