等離子清洗機是將氣體電離產(chǎn)生等離子體對工件進(jìn)行表面處理，無(wú)論是進(jìn)行清洗還是表面活化，為達到更佳的處理效果我們會(huì )選用不同的工藝氣體，那么等離子清洗機的常用工藝氣體有哪些，又該如何選擇呢？今天就為大家分享一下相關(guān)基礎知識，供大家分享。
等離子清洗機常用的工藝氣體有氧氣、氬氣、氮氣、壓縮空氣、二氧化碳、氫氣、四氟化碳等。
1氧氣是等離子清洗常用的活性氣體，屬于物理+化學(xué)的處理方式，電離后產(chǎn)生的離子體能夠對表面進(jìn)行物理轟擊，形成粗糙表面。同時(shí)高活性的氧離子能夠與被斷鍵后的分子鏈發(fā)生化學(xué)反應形成活性基團的親水表面，達到表面活化的目的；被斷鍵后的有機污染物的元素會(huì )與高活性的氧離子發(fā)生化學(xué)反應，形成CO、CO2、H2O等分子結構脫離表面，達到表面清洗的目的。
氧氣主要應用于高分子材料表面活化及有機污染物去除，但不適用于易氧化的金屬表面。
真空等離子狀態(tài)下的氧等離子呈現淡藍色，部分放電條件下類(lèi)似白色。放電環(huán)境光線(xiàn)比較亮，肉眼觀(guān)察時(shí)可能會(huì )出現看不到真空腔體內有放電的情況。
2氫氣與氧氣類(lèi)似，屬于高活性氣體，可以對表面進(jìn)行活化及清洗。氫氣與氧氣的區別主要是反應后形成的活性基團不同，同時(shí)氫氣具有還原性，可用于金屬表面的微觀(guān)氧化層去除且不易對表面敏感有機層造成損壞。所以在微電子、半導體及線(xiàn)路板制造行業(yè)使用較廣。
因氫氣為危險性氣體，未被電離時(shí)與氧氣匯合會(huì )發(fā)生自爆，所以在等離子清洗機中通常是禁止兩種氣體混合使用的。
真空等離子狀態(tài)下氫等離子呈紅色，與氬等離子類(lèi)似，要相同的放電環(huán)境下比氬等離子顏色略深。
3氮氣電離形成的等離子體能夠與部分分子結構發(fā)生鍵合反應，所以也是一種活性氣體，但相對于氧氣和氫氣而言，其粒子比較重，通常情況下在等離子清洗機應用中會(huì )把此氣體界定在活性氣體氧氣、氫氣與惰性氣體氬氣之間的一種氣體。在清洗活化的同時(shí)能夠達到一定轟擊、刻蝕的效果，同時(shí)能夠防止部分金屬表面出現氧化。
氮氣與其他氣體組合形成的等離子體通常會(huì )被應用于一些特殊材料的處理。
真空等離子狀態(tài)下氮等離子也是呈紅色，在相同的放電環(huán)境下，氮等離子會(huì )比氬等離子和氫等離子更亮一些。
