等離子清洗機種類(lèi)也有很多，通常多可分為大氣等離子清洗機和真空等離子清洗機，區別在于工作時(shí)所處的氣壓環(huán)境狀態(tài)，前者為常壓放電，后者是在低壓真空的環(huán)境下產(chǎn)生輝光放電，無(wú)論是哪一種，其等離子體產(chǎn)生的過(guò)程卻是基本相同的。
物質(zhì)從能量較低的聚合態(tài)轉為能量較高的聚集態(tài)需要外界提供足夠的能量，形式有加溫、電場(chǎng)、輻射等，等離子清洗機所產(chǎn)生的等離子體便是一種能量較高的物質(zhì)聚集態(tài)，通過(guò)對氣體施加電場(chǎng)能量電離為原子、離子、電子等，等離子體中，由于所帶的正負電荷數幾乎相等，所以在宏觀(guān)層面上能夠將其看做是電中性的。理論解釋比較晦澀，我們可以通過(guò)水為例來(lái)了解一下。
當溫度在0℃以下時(shí)，水就會(huì )呈現固體形態(tài)冰；通過(guò)加熱，當在0℃到100℃之間，就會(huì )由固體形態(tài)冰化為液體形態(tài)的水；而當溫度繼續上升到100℃以上，液體形態(tài)的水就會(huì )變成氣態(tài)的水蒸氣。而溫度到上萬(wàn)度之后轉化為包括原子、離子、電子在內多種粒子的等離子體。
在等離子體具體的產(chǎn)生過(guò)程中，大氣等離子清洗機是把無(wú)水無(wú)油的壓縮空氣即CDA，通過(guò)噴槍電極電離而形成等離子體。
而真空等離子清洗機是先將反應腔體抽成真空狀態(tài)，然后通入反應氣體，維持腔體內一定的真空度，再將電通電，形成高頻高壓電場(chǎng)，電離形成等離子體。
